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財團法人工業技術研究院 / 量測中心
ITRI / Center for Measurement Standards 展26-2
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本次展出
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● AOI設備
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○ 光學系統
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○ 取像系統
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○ 影像分析
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○ 運動控制
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○ 其他
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展出品牌
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晶圓厚度量測儀
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展品資料
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本展品為一種基於光譜干涉技術的晶圓厚度測量系統，可偵測厚度範圍5~500 µm，重複性小於1 µm，測量晶圓上下表面之間的光學干涉訊號。這種光學計量技術因其無損、非接觸、高解析度、高速度等優異優點而發展起來，可滿足未來先進封裝市場的需求。
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展品圖
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基本資料
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地址
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新竹市光復路二段321號1館502室
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業務聯絡人
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電子信箱
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卓嘉弘
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Gabo_Cho@itri.org.tw
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電話
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傳真
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(03)5743817
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(03)5743817
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公司介紹
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公司性質
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AOI相關元件/模組/平台供應商、AOI測試服務/技術顧問、AOI相關學術/研究機構
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公司簡介
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工研院量測中心 智慧檢測儀器與計量研究室，主要致力於發展半導體封裝製程量測技術及第三代半導體非破壞性光學檢測技術。
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AOI主力產品
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晶圓厚度量測儀、表面膜厚量測儀、晶圓對位量測儀、晶圓翹曲量測儀、白光干涉量測儀、彩色共焦量測儀、TGV玻璃應力量測儀、SiC晶格缺陷量測儀、SiC晶圓厚度量測儀、SiC晶圓翹曲量測儀。
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